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电容式加速度传感器的传感部件、制作方法及其应用

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
常见的微机械加速度传感器按敏感原理分主要有压阻式、压电式和电容式三种。压电式加速度传感器的基本原理利用压电效应，通过测量压电效应产生的电压变化来感知加速度的。这种加速度传感器的结构比较简单，但难以测量常加速度，温度系数较大，线性度也不好。压阻式微加速度传感器利用的是压阻效应，将外界加速度的变化转化为压阻材料两端检测电压值的改变，其具有的优点是结构简单，接口电路易于实现，缺点是温度系数比较大...
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